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三星请求光学专利可以丈量管芯和晶片之间的平行度

发布时间:2024-03-07 作者: 杏彩体育直播官网在线观看

  金融界2023年12月5日音讯,据国家知识产权局公告,三星电子株式会社请求一项名为“用于平行度丈量的光学组件和包含该光学组件的光学设备“,公开号CN117168363A,请求日期为2023年4月。

  专利摘要显现,一种运用管芯接合体系将管芯接合到晶片的办法,该办法运用所取得的显现干与条纹的图画来丈量管芯和晶片之间的平行度。在一些施行例中,运用由管芯接合体系的光学设备发生的干与条纹来检测平行度和管芯变形。平行度丈量光学设备包含:光源、被装备为操控参阅光和丈量光的偏振的光学组件。在一些施行例中,丈量光次序地入射到沿笔直方向间离隔以互相面临的榜首丈量外表和第二丈量外表上并从榜首丈量外表和第二丈量外表上反射,而且出射以具有关于榜首丈量外表与第二丈量外表之间的平行度的信息。在一些施行例中,榜首偏振器被装备为使从光学组件出射的参阅光和丈量光互相干与。光检测器被装备为查验测验包含干与条纹的光的干与信号。

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